在冶炼炉内,碳化硅晶体发育有下列规律:
一、晶体大小由炉芯表面层向外逐渐减小,在炉芯表面附近可看到数毫米的晶体,而在外层(无定形物)的晶体尺寸不超过数十微米。
二、外层晶体的排列无一定方向,也无链状结构,愈靠近炉芯,晶体愈有一定的“链状”结构,晶体沿径向联结成清晰的放射状链条,这些链条在炉芯表面附近结合得更紧密。
三、在“链状”结构中,晶体方向是一定的,晶体的六角片总是顺着链条方向,垂直于炉的轴向,而晶体的C轴与链条方向垂直。
四、不同部位晶体的发育是不均衡的。炉芯上部及侧部晶体比下部大,下部往往得到细结晶及无定形物,这在冶炼绿碳化硅时极为明显。
五、在靠近炉芯的碳化硅层中,有时出现空腔,空腔一般是由炉下部通向侧部及上部,使结晶筒内表面凸凹不平。空腔内面呈“熔化”状态,有时长着大片晶体。