冶烧碳化硅配料单是工艺文件中最重要的一种,它规定了炉料布局及配方的范围。表2-5-4为绿碳化硅配料单一例(炉底焙烧料法)。
图2-5-5中装料尺寸按照下列经脸公式计算:
装料总宽度(cm) B1 = 63 +0.032Wc (2一5一7)
反应区宽度(cm)B2=6 +0.0163Wc (2一5一8)
下部反应料高度(cm) H1=6+0.006Wc (2一5一9)
上部反应料高度(cm) H2=33+0.0083Wc (2一5一10)
下部料层总高度(cm) H3=42 +0.0096Wc (2一5一11)
上部料层总高度(an) H4=42+0.011Wc (2一5一12)