装炉工艺要点

发布时间：14-08-18 10:56  来源：www.bdpsj.com

(一)保证炉芯装制质量
需使其电阻值保持在一定范围之内，并且各段电阻应大小一致。为此要求:
1.保持适当的炉芯材料充填密度;
2.保持炉芯尺寸的准确;
3.控制炉芯材料外来杂质;
4.炉芯材料粒度控制在炉芯宽度的1/10以下;
5.炉芯位置应在两边侧墙中心;
6.炉芯与电极连接处，石墨装成喇叭形并捣实。
(二)保持装料尺寸，位置正确
1.上部料层高度影响上部碳化硅结晶层质量，厚度大结晶易产生碳多，厚度小易产生硅多，并易引起喷炉，所以应按规定尺寸装料;
2.要把含sic的上部料准确装在反应区，避免流失到非反应区。

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