我国冶炼碳化硅有两种工艺方法,一种是新料法,另一种是焙烧料法。新料法把新料直接装于电阻炉的反应区冶炼碳化硅。焙烧料法把新料先装于电阻炉的底部及两侧进行焙烧,除去焦炭中挥发分并烧结成较大颗粒。再把得到的焙烧料装入下一炉反应区冶炼。
由于焙烧时硅砂与焦炭颗粒聚合成多孔的颗粒,使炉料具有较好的透气性。经焙烧后,焦炭的挥发分大部分都被排除,并利用了一部分中间产物,有利于提高炉产。焙烧料中含有一定食盐。因此用焙烧料配置的反应料其外加食盐比新料法少一些。但是每炉焙烧料的成分波动较大,使每炉的炉料配方都要重新调整。而且应使一炉出来的焙烧料恰够装入下一炉,否则,不同炉次焙烧料的混合会影响配方调整的正确性,影响产品质量。
新料法的炉料成分波动少,炉料配方较稳定,与焙烧料法相比,产品质量较稳定。
综合两种生产工艺的利弊,新料法更适合黑碳化硅,而焙烧料法较适合绿碳化硅。